UTM70B/日本ulvac愛發(fā)科/ 真空泵 /陶瓷滾珠軸承式渦輪分子泵/復(fù)合翼型渦輪分子泵

DSMRO0030

它是一種復(fù)合翼型渦輪分子泵，采用陶瓷球軸承。通過集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。由于優(yōu)異的高背壓特性，輔助泵的小型化成為可能。

實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。由于優(yōu)異的高背壓特性，輔助泵的小型化成為可能。

特點(diǎn)
·安裝方向自由
安裝方向沒有限制，因此設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度增加。

·車載控制器安裝的
控制器安裝在渦輪機(jī)主體上，因此對(duì)于布線和排氣系統(tǒng)的小型化非常有效。

，高壓縮比，Kohai圧
壓縮比是高的，從而允許輔助泵的小型化，因?yàn)樗梢栽诟弑硥合虏僮鳌?br>
?3種類型的設(shè)置凸緣的
VG65，ICF114，可以是三種類型ISO63-K的進(jìn)氣口法蘭的選擇。

- 
設(shè)計(jì)用于在泵停止時(shí)以及在清潔真空操作期間具有較少的碳?xì)浠衔锘亓鳌?br>
· 
無噪音噪音小于48分貝且安靜。
（ISO 63的測(cè)量值 - K法蘭型。）
使用
和分析設(shè)備，研究和開發(fā)的設(shè)備，所述主排氣系統(tǒng)中，諸如實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

，汽相沉積設(shè)備，在主排氣系統(tǒng)中，如濺射裝置

的輕質(zhì)氣體如H2·，主排氣系統(tǒng)中他

UTM70B/日本ulvac愛發(fā)科/ 真空泵 /陶瓷滾珠軸承式渦輪分子泵/復(fù)合翼型渦輪分子泵

公司名稱 ULVAC公司
ULVAC公司
商標(biāo) ULVAC
創(chuàng)建 1952年8月23日
代表： 代表董事兼執(zhí)行官Iwashita Setsuko總裁
資本 20，873，045，2555日元
員工人數(shù) 1,293，合并6,439（截至2018年6月30日）
業(yè)務(wù)內(nèi)容 顯示器，太陽(yáng)能電池，半導(dǎo)體，電子電器，金屬，機(jī)械，汽車，化學(xué)，食品和制藥工業(yè)和真空設(shè)備，外圍設(shè)備，真空組件，開發(fā)，制造，銷售和客戶的載體的材料的大學(xué)和實(shí)驗(yàn)室 - 進(jìn)出口機(jī)械設(shè)備。此外，一般的真空技術(shù)研究指導(dǎo)/技術(shù)顧問。


我們的公司，我們成立了進(jìn)口和各種真空設(shè)備的銷售簽署了假設(shè)美國(guó)NRC設(shè)備公司和技術(shù)結(jié)盟于1952年代理協(xié)議的目的。基金會(huì)后的主要項(xiàng)目如下。

1952年 八月 成立日本獎(jiǎng)勵(lì)科技有限公司（資本600萬(wàn)）進(jìn)口和銷售各種真空設(shè)備。
1955年 四月 成立大森工廠，開始生產(chǎn)國(guó)產(chǎn)設(shè)備。
1956年 十一月 我們合并了東洋精機(jī)真空實(shí)驗(yàn)室有限公司，開始生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，如真空化學(xué)設(shè)備和真空泵作為尼崎工廠。
1959年 四月 總公司和大森工廠遷至橫濱市。
1961年 七月 應(yīng)用真空技術(shù)的基礎(chǔ)，開始了真空冶金業(yè)務(wù)。
1962年 九月 成立真空材料有限公司（商品名改為ULVAC MATERIALS CORPORATION），開始銷售耐火材料。
1962年 十月 真空科學(xué)與工程（現(xiàn)為·Advance科學(xué)與工程有限公司）成立，是一家專業(yè)的熱分析設(shè)備制造商
1963年 十月 雖然被合并到新生產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社（1929年9月20日成立），改名為當(dāng)日公司名稱和ULVAC公司，繼續(xù)前ULVAC公司的業(yè)務(wù)。
1964年 一月 外國(guó)分公司信賴部，與美國(guó)Reliance Electric and Engineering Co.共同投資成立Japan Reliance Co.，Ltd ..
1964年 七月 成立香港ULVAC有限公司，與香港制造有限公司合資成立。
1966年 四月 分離真空冶金事業(yè)部成立真空冶金有限公司
1968年 五月 總公司和橫濱工廠搬遷到茅崎市。
1970年 七月 成立Sanwa ULVAC Sales Co.，Ltd。（商品名改為ULVAC East Japan Co.，Ltd。）為壟斷經(jīng)銷商。
1971年 七月 真空機(jī)械有限公司（現(xiàn)為ULVAC Kiko Co.，Ltd。）是一家專業(yè)生產(chǎn)小型真空泵的企業(yè)。
1972年 七月 在千葉縣成立新的超級(jí)材料研究實(shí)驗(yàn)室。
1975年 十二月 ULVAC北美公司（現(xiàn)為ULVAC Technologies，Inc。）在北美成立，作為出口到美國(guó)的基地。
1977年 一月 成立九州ULVAC INC。（現(xiàn)為ULVAC九州株式會(huì)社），擴(kuò)大在九州地區(qū)的銷售活動(dòng)。
1979年 一月 分離服務(wù)部門，成立ULVAC服務(wù)有限公司 分離SI部門，成立ULVAC Film Deposition Co.，Ltd。
1981年 十月 與美國(guó)Helix Technology Corp.共同投資成立ULVAC·CRYO CO。，LTD。
1982年 一月 在臺(tái)灣臺(tái)北成立ULVAC TAIWAN Co.，Ltd。（現(xiàn)在·ULVAC TAIWAN INC。）。
1982年 十一月 ULVAC·Phi Co.，Ltd。與美國(guó)Perkin Elmer公司共同成立。
1982年 十二月 茨城縣筑波科學(xué)城（現(xiàn)在筑波市）在市內(nèi)設(shè)立筑波超級(jí)材料研究所。
1983年 二月 北京辦事處在中國(guó)北京開業(yè)。
1985年 三月 我們?yōu)楹司圩冴P(guān)鍵等離子體實(shí)驗(yàn)設(shè)備“JT-60”提供了真空泵系統(tǒng)。
1985年 四月 成立ULVAC SEIKI CO。，LTD作為關(guān)西的基地工廠。
1987年 一月 為了加強(qiáng)大型設(shè)備的生產(chǎn)系統(tǒng)，在青森縣八戶市建立了東北航空技術(shù)株式會(huì)社（現(xiàn)ULVAC東北株式會(huì)社）。
1987年 二月 在西德成立ULVAC GmbH，以加強(qiáng)歐洲的服務(wù)結(jié)構(gòu)。
1987年 五月 成立ULVAC企業(yè)中心有限公司，為集團(tuán)公司提供支持。
1987年 九月 英文公司名稱改為ULVAC Japan，Ltd。
1988年 十月 九州真空技術(shù)有限公司在鹿兒島成立，建立了真空泵的批量生產(chǎn)系統(tǒng)。
1990年 五月 為了加強(qiáng)半導(dǎo)體制造設(shè)備的生產(chǎn)系統(tǒng)，在靜岡縣Sus野市新設(shè)立富士Sus野工廠。
1991年 十二月 九州真空科技有限公司合并了ULVAC SEIKI Co.，Ltd。，更名為ULVAC SEIKIKI CO。，LTD。
1992年 四月 資本金從12.1億日元增加到38.3億日元。
1992年 六月 資本金增加至38.5億日元。
1994年 十月 ULVAC服務(wù)有限公司合并ULVAC MATERIALS CO。，LTD。，更名為ULVAC Techno Co.，Ltd。
1995年 五月 在韓國(guó)首爾成立ULVAC KOREA，Ltd ..
1995年 九月 與寧波中國(guó)機(jī)械動(dòng)力機(jī)械集團(tuán)有限公司合資成立寧波愛知醫(yī)用真空技術(shù)有限公司。
1996年 十一月 為了擴(kuò)大真空設(shè)備的生產(chǎn)能力，東北航空技術(shù)株式會(huì)社，Ulvac Kyushu株式會(huì)社在鹿兒島工廠增設(shè)了清潔工廠。
1998年 一月 新加坡CS中心，臺(tái)灣新竹研發(fā)中心開業(yè)，以擴(kuò)大亞洲的網(wǎng)絡(luò)。
2000 四月 開設(shè)臺(tái)北五星服務(wù)中心。
2000 八月 我們?cè)赨LVAC KOREA，Ltd。建立了平澤工廠作為生產(chǎn)工廠。
2001年 五月 在寧波愛知醫(yī)用真空技術(shù)有限公司新建工廠
2001年 七月 公司名稱改為ULVAC Co.，Ltd。（英文名稱：ULVAC，Inc。）
2001年 十一月 加強(qiáng)客戶支持ULVAC TAIWAN INC。成立桃園CIP工廠。
2002年 一月 成立ULVAC SINGAPORE PTE LTD以加強(qiáng)客戶支持系統(tǒng)。
2002年 七月 ULVAC East Japan Co.，Ltd。合并了Takayama ULVAC CO。，LTD。，將公司名稱更改為ULVAC EIS Co.，Ltd。（現(xiàn)為ULVAC Selling Co.，Ltd。）。
2002年 十二月 收購(gòu)美國(guó)物理電子美國(guó)公司擁有的ULVAC·PHI Corporation股份（50％），并成為其全資子公司。
2003 三月 從美國(guó)RELIANCE ELECTRIC COMPANY收購(gòu)Nippon Reliance Co.，Ltd。股份（31％），將其股份增加至81％。
2003 五月 Ulvac Tohoku Co.，Ltd.，ULVAC Techno Co.，Ltd.，UMAT Co.，Ltd。在東北建立了機(jī)械加工，表面處理，精密清洗一體化工廠。
2003 七月 成立了真愛科技（蘇州）有限公司，作為中國(guó)的一家規(guī)模生產(chǎn)廠和一家CS解決方案工廠。
2003 八月 收購(gòu)Litrex Corporation 50％的股份，Litrex Corporation生產(chǎn)和銷售工業(yè)噴墨設(shè)備。
2004年 四月 在東京證券交易所第部上市的股票。
它將資本從38.5億日元增加到81億日元。
2004年 五月 它將資本從81億日元增加到89.5億日元。
2004年 七月 成立Ulvac Korea Precision，Ltd。，目的是由ULVAC KOREA，Ltd。和ULVAC Tohoku Co.，Ltd。在韓國(guó)共同制造大型基板真空部件。
成立Pure Surface Technology，Ltd。，與ULVAC KOREA，Ltd。和韓國(guó)真空冶金有限公司共同進(jìn)行成膜設(shè)備零件的表面處理。
2004年 八月 成立日本倚有限公司，生產(chǎn)控制面板和自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)器與圣經(jīng)電商人有限公司的合資企業(yè)，愛發(fā)科企動(dòng)力科技銷售（上海）有限公司在中國(guó)的目的。
2004年 十二月 資本金從85.5億日元增加到134.68億日元。
2005年 一月 成立ULVAC KIKO有限公司以及在與江蘇寶驪集樂團(tuán)，成立合資企業(yè)真空泵零部件的制造，愛為目的（靖江）有限公司在中國(guó)的發(fā)病家庭天馬電機(jī)銷售。
成立于與沉陽(yáng)中北真空技術(shù)有限公司合資真空爐制造，愛Hatsuka中北真空（沉陽(yáng)）有限公司出售在中國(guó)的目的（目前Aihatsuka真空技術(shù)（沉陽(yáng)）有限公司）。
將成都東方愛知真空吸塵技術(shù)有限公司改為子公司，更名為AIST東寶真空（成都）有限公司。
2005年 四月 Vacuum Metallurgical Corporation合并了UMAT Co.，Ltd。，更名為ULVAC Materials Corporation。
為了擴(kuò)大平板顯示器業(yè)務(wù)，我們從富士通VS LSI轉(zhuǎn)移了設(shè)備業(yè)務(wù)。
2005年 六月 為了增加ULVAC KOREA，Ltd。的產(chǎn)量，增加了Kanaya工廠。
ULVAC Kiko Co.，Ltd。在宮崎工廠建立了小型真空泵的評(píng)估和驗(yàn)證可靠性評(píng)估中心。
2005年 十一月 收購(gòu)Litrex Corporation在英國(guó)劍橋顯示技術(shù)有限公司擁有的股份（50％），并使其成為全資子公司。
成立ULVAC（THAILAND）LTD。在泰國(guó)銷售和現(xiàn)場(chǎng)支持。
2005年 十二月 建立和ULVAC臺(tái)灣制造公司這樣的平板顯示器制造裝置的制造中，一個(gè)超凈PRECISION科技股份有限公司向現(xiàn)場(chǎng)支持類似的部件的機(jī)械加工和部件清洗旨在臺(tái)。
2006年 三月 成立愛知（中國(guó)）投資有限公司，以管理和監(jiān)督中國(guó)子公司。
2006年 四月 在臺(tái)灣成立ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.，用于制造控制面板等。
2006年 七月 成立ULVAC研究中心KOREA，Ltd。，在韓國(guó)進(jìn)行研發(fā)。
在臺(tái)灣成立ULVAC研究中心TAIWAN，Inc。進(jìn)行研發(fā)。
2006年 八月 收購(gòu)Sigma Technos Co.，Ltd。的股份（70％），該公司生產(chǎn)和銷售精密平臺(tái)。
成立ULVAC MALAYSIA SDN.BHD。用于馬來西亞的銷售和現(xiàn)場(chǎng)支持。
2006年 九月 新成立的ULVAC TECHNO CORPORATION神奈川縣神崎市真空設(shè)備零件表面處理化學(xué)中心。
Miyazaki Kiko Co.，Ltd。宮崎工廠被添加到宮崎縣埼玉市，旨在鞏固小型真空泵的生產(chǎn)。
2006年 十一月 愛知縣愛知工廠在春日井市新成立，以擴(kuò)大平板顯示器制造設(shè)備的生產(chǎn)能力。
2007年 六月 成立ULVAC，Inc。印度分公司。擴(kuò)大印度業(yè)務(wù)。
2007年 九月 成立Sigma Technos Co.，Ltd。總部工廠，在埼玉縣日高市制造和銷售大型精密工作臺(tái)。
2007年 十一月 箕電商人有限公司，愛Hatsuka箕電科技（上海）有限公司因轉(zhuǎn)讓控股有限公司Aihatsuka自動(dòng)化科技（上海）公司名稱變更為股份有限公司。

UTM70B/日本ulvac愛發(fā)科/ 真空泵 /陶瓷滾珠軸承式渦輪分子泵/復(fù)合翼型渦輪分子泵