在半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化浪潮中，核心零部件的自主可控是關鍵一戰(zhàn)。近日，廣東海拓**精密設備科技有限公司（海拓**） 傳來重磅突破：已完成 4 至 12 英寸半導體 FAB 靜電卡盤的批量交付實績，實現(xiàn)該領域國產(chǎn)化零突破，打破日美企業(yè)長期壟斷格局，為國內(nèi)刻蝕、離子注入、薄膜沉積等關鍵制程補上 “關鍵一環(huán)”。 

國產(chǎn)化突破：靜電卡盤的 “突圍之戰(zhàn)”

全球半導體靜電卡盤市場長期被日本 NTK、芝浦機電及美國 Entegris 等壟斷，12 英寸產(chǎn)品更是依賴進口，成為制約制程發(fā)展的 “卡脖子” 難題。海拓**深耕靜電卡盤技術十余年，攻克陶瓷基片燒結、電極集成、高精度涂層等核心技術，成為國內(nèi)實現(xiàn) 4-12 英寸全系列靜電卡盤商業(yè)化批量交付的企業(yè)，產(chǎn)品已適配 14nm 及以上先進制程，成功進入國內(nèi)頭部晶圓廠供應鏈。  

超高均勻加熱，保障制程一致性：采用箔狀 / 陶瓷復合加熱技術，大面積全域溫差≤±0.1℃，無熱點、無溫度漂移，匹配 12 英寸大尺寸晶圓的均勻加熱需求，從源頭規(guī)避晶圓翹曲、受熱不均導致的良率損失。

• 快速溫變響應，提升生產(chǎn)效率：超薄結構設計（*薄 1.15mm），低熱容實現(xiàn) 5℃/ 秒快速升溫，適配靜電卡盤 “快速升溫 - 恒溫制程 - 快速降溫” 的工藝節(jié)拍，助力晶圓廠提升設備稼動率。

• 嚴苛工況適配，穩(wěn)定耐用長壽命：采用高絕緣、耐腐蝕材質(zhì)，通過 UL 認證，無鉛無焊工藝，可長期耐受 200-250℃中高溫及高真空環(huán)境，使用壽命達 10 萬小時以上，大幅降低設備維護成本。

• 靈活定制適配，匹配國產(chǎn)卡盤設計：支持分區(qū)控溫、曲面貼合、尺寸定制，可無縫集成至海拓** 4-12 英寸全系列靜電卡盤，適配刻蝕、離子注入、CVD 等不同制程場景。